方案概覽

含氟廢水主要由芯片生產(chǎn)期間的刻蝕工藝產(chǎn)生的，因為刻蝕工藝生產(chǎn)需要用到氫氟酸與氟化銨等物質(zhì)。企業(yè)需要對采用化學(xué)沉淀法、離子交換法等方法處理的廢水是否達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)進行評估，這就要求對氟化物去除過程進行監(jiān)測。
該系統(tǒng)采用靈敏的氟化物離子選擇性電極（ISE），可提供可靠的測量，低至0.1PPM，高達(dá)1000PPM?；瘜W(xué)模塊為傳感器提供樣品的調(diào)節(jié)處理，測量的氟化物濃度值顯示在控制器上，該控制器還能提供報警和模擬量輸出等功能。
實際測量中，儀器將少量樣品泵入系統(tǒng)中，并與緩沖液混合。隨后使處理后的樣品流入安裝有氟化物ISE和參比電極的腔室。在此腔室中測量氟化物離子濃度，氟離子濃度的變化會立即顯示在控制器上。而處理后的樣品被從測量池中抽回，并泵入采樣溢流池的排水口。
艾晟特針對芯片業(yè)氟化物的在線監(jiān)測克服了電極結(jié)垢的難題，改善監(jiān)測的可靠性，也有效提高了電極使用壽命。

解決的痛點

電極結(jié)垢影響設(shè)備可靠性和使用壽命。

方案特點

維護：只需要很少的維護，一加侖的緩沖液能使系統(tǒng)運行25天，并應(yīng)每周檢查一次測量腔內(nèi)傳感器的液位水平。
模擬輸出選項.：兩路4-20 mA標(biāo)準(zhǔn)輸出，默認(rèn)設(shè)置提供氟化物和溫度的模擬輸出。
PID輸出：標(biāo)準(zhǔn)PID控制功能可分配給一個模擬輸出。
數(shù)字通信：Profibus-DP，Modbus-RTU或Ethernet-IP的通訊選項。
傳感器前置放大器：Auto-Chem模塊內(nèi)的傳感器帶前置放大器功能，可使控制器與化學(xué)模塊單元分離安裝，遠(yuǎn)達(dá)300英尺。
繼電器輸出：三個SPDT繼電器是標(biāo)準(zhǔn)配置，繼電器功能可編程用于報警，控制或故障指示。
獨特的降低結(jié)垢的設(shè)計